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日本EUV 移機及支架改造工事
原有設(shè)備架設(shè)EUV系統(tǒng)，提升產(chǎn)品良率及效率。目前支架及相關(guān)電路變更工事。
EUV原為韓國設(shè)備所搭配，目前客戶將此EUV移至日本洗凈設(shè)備上，需進行支架及電系之強化作業(yè)。
EUV原為韓國設(shè)備所搭配，目前客戶將此EUV移至日本洗凈設(shè)備上，需進行支架及電系之強化作業(yè)。
原有設(shè)備架設(shè)EUV系統(tǒng)，提升產(chǎn)品良率及效率。目前支架及相關(guān)電路變更工事。
EUV原為韓國設(shè)備所搭配，目前客戶將此EUV移至日本洗凈設(shè)備上，需進行支架及電系之強化作業(yè)。
經(jīng)由分析后：發(fā)現(xiàn)以下的問題。請參考應(yīng)力圖。
原支架搭新EUV后變型問題發(fā)生。故設(shè)計輔助支架。
新型設(shè)計如下圖：
